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單頁簡介

蘇州益康環(huán)境檢測有限公司

東部地區(qū)檢測業(yè)務(wù)區(qū)域:(上海、江蘇、浙江、安徽、山東、湖北、)
區(qū)域業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人:劉經(jīng)理
聯(lián)系電話:0512-66985755  1891542 0690
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北部地區(qū)檢測業(yè)務(wù)區(qū)域:(北京、天津、河北、山西、黑龍江、吉林、遼寧、內(nèi)蒙古)
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南部地區(qū)檢測業(yè)務(wù)區(qū)域:(廣州、廣西、福建、江西、湖南、貴州、云南)
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西部地區(qū)檢測業(yè)務(wù)區(qū)域:(陜西、河南、四川、重慶、甘肅、寧夏、青海、新疆、西藏)
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郵箱:changliu008@126.com

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公司動態(tài)

潔凈室高效過濾器檢漏檢測方法總結(jié)

2021-10-20
一、說明
過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中,最復(fù)雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的,是要確認(rèn):
1. 濾網(wǎng)的材料無破損,
2. 安裝恰當(dāng)。
濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試,但是在搬運與安裝過程難保完全無損,而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認(rèn)濾材無任何泄漏。另外,若是安裝不恰當(dāng),微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng),天花板上是負(fù)壓,若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。因此,邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒,然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄漏測試有幾種不同的方式,適用在不同的場合。
測試方式有:
1. 氣膠光度計測試法, 2. 微粒計數(shù)器測試法, 3. 全效率測試法, 4. 外氣測試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。
 
二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣膠光度計測試法是最早期的測試方式,但是因為效果非常好,到今天仍舊沿用。氣膠光度計( Aerosol Photometer )是微粒計數(shù)器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強(qiáng)度,不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì),現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后,可以產(chǎn)生次微米等級的微粒,可用來模擬無塵室的微粒,因此被當(dāng)成驗證微粒。 微粒計數(shù)器測試法
半導(dǎo)體業(yè)方面,早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計,但是隨著制造精密度增加,油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用,因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒,在上游施放,然后用微粒計數(shù)器在下游掃描,尋找泄漏,基本概念完全相同。經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果,發(fā)現(xiàn) PSL 因為微粒的粒徑與濃度可以控制,因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時只要把 PSL 溶液霧化,導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可

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